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工艺。”</p>
“好呀好呀!”</p>
胡宗耀高兴地说道:“我们国内自己终于快掌握先进的制程工艺技术了!”</p>
此时他看了周晓东一眼,说道:“你不是说你们找到了那种顺利实现制程工艺升级的方法吗?我怎么没看到?”</p>
“那套装置现在正在组装当中,是在另外一个实验室里面。”</p>
周晓东笑着说道。</p>
“快带我去看看!”</p>
胡宗耀有些迫不及待地说道。</p>
不一会儿,胡宗耀等人来到了一间实验室里面。</p>
此时实验室里面的技术人员此时正在几名中年男人的带领下小心翼翼地组装一台体积比较大的工件台装置。</p>
此时见到胡宗耀和周晓东等人过来,其中一名中年男人随后迎上来。</p>
“张董,周董……”</p>
负责设计开发工件台和浸没装置的副总工程师赵东亚此时打着招呼。</p>
“胡部长跟市里面的领导过来视察了解我们设备研发的情况,你来向大家介绍一下。”</p>
张振宇笑着开口说道。</p>
“是,张董。”</p>
“这个就是你们设计研制的光刻机工件台?”</p>
胡宗耀此时惊喜地看着眼前正在装配当中的复杂装置问道。</p>
“是的,这是一台融合了浸没头和精密运动平台的工件台装置,我们上个月才将这套装置的设计图纸完成,现在正在进行装配。”</p
赵东亚回答道。</p>
胡宗耀此时来到这台大型的工件台旁边仔细地进行察看,眼中满是惊喜,回头看了赵东亚和周晓东一眼,“这套装置研发设计起来相当困难吧?”</p>
“确实是极为困难的,因为周董要求这套工件台运动精度误差要控制在五纳米以内,如何实现这种精度的定位需要超高精密的定位技术和超高精密的运动控制技术,这些技术国内没有,我们只能是自己动手研发。”</p>
赵亚东此时看了一眼周晓东,“不过周董是个技术天才,他在我们研发这些技术当中的时候提出了超精密纳米级别的定位编码器系统技术,并且亲自编写了多种控制算法,我们正在组织人手按照这种算法来编写程序和开发这套系统。”</p>
“另外因为我们从海外买不