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个技术领域基础研究是非常厉害的,在这个基础上是可以研制出这种大功率深紫外波长的固态激光光源作为光刻机设备光源系统的的。”</p>
“另外光刻机设备需要的镜头组需要抛光精度低于一纳米以以下,我们需要这种磁流变抛光设备和抛光材料才能做到,目前这样的设备米国和德意志方面是绝不会给我们的,希望能够得到中科院在的支持。”</p>
“你们需要磁流变抛光设备来加工镜片?”</p
此时坐在那里的一名国防科工局官员此时开口说话了。</p>
“是的,目前只有这种设备技术才能将光学镜头器件的加工精度达到一纳米以下,虽然我们和罗志平先生有研制这种离子束抛光设备的研制项目,不过这种加工精度最高也只能做到几纳米,为了能持续推进制程工艺的进步,我们必须做出这种最高的光学孔径数值镜片才能满足这个要求。”</p>
周晓东开口说道:“为了加工出这种最高精度的光学器件,我们绞尽脑汁地想了很多办法,用了化学抛光工艺技术和超声波抛光工艺技术,因为这些镜片每一块镜胚面积很大,我们的高级技师想了很多办法,报废了很多材料后也只能把光学镜片的光学孔径数值做到零点七的样子,勉强能支撑我们把光刻工艺制程做到零点一三微米的样子。”</p>
“首长,国防大学那边精密加工实验室有一个团队在做磁流变技术设备的的研究,到现在已经研发了九年时间,目前已经做出了试验样机产品……”</p>
这名官员对大首长说道。</p>
周晓东听到这句话后那是吃了一惊:在李四季大老板向他讲述的那样,国内差不多是两千年后才陆续看到这方面的论文,没想到国防大学那边在八十年代末就启动了磁流变技术的研究!</p>
“这套设备能够投入使用了吗?”</p>
大首长高兴地问道。</p>
“设备是造出来了,不过在这种磁性抛光浆料上技术不成熟……”</p>
大首长此时开口说道:“那让这个实验室和周晓东的公司一起研制,加快这方面的进度。”</p>
听到这话,周晓东心中大喜,真是打瞌睡就有人送枕头,想不到这次竟然能得到国防科工局方面的助力!</p>
“那太好了,我们一定竭尽全力让这种磁流变设备和抛光浆料材料技术成熟起来,不断地推出更先进的光刻机产品设备出来,助力我们国家的半导体产